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Park Systems XE-150大样品原子力显微镜

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品牌:中文
生产厂家:Park Systems
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Park Systems  XE-150大样品原子力显微镜

XE-150大样品原子力显微镜

 
产品介绍:

 

XE-150大样品原子力显微镜

 

    随着XE-150的推出,对大尺寸样品进行无损检测成为了一种切实可行的技术手段。XE-150分辨率高,性能稳定可靠。样品台可在150毫米见方或者200毫米见方的量程内自动移动,无论是扫描小尺寸样品还是大尺寸样品,操作起来都是得心应手。如使用Step-and-Scan功能可帮助用户按照定制的计划对多个目标区域进行连续自动扫描,极大的提高了检测效率。

 

技术参数(机械部分)
1.  XY扫描器:100µm×100µm(闭环),可选配200µm×200 µm
2.  Z扫描器:12µm (可选配25µm)
3.  水平度:50µm线扫描垂直偏差不超过2nm
4.  XY和Z扫描器的正交性:1.0o
5.  样品台移动范围:200mm×200mm(X/Y),27.5mm (Z)
6.  样品尺寸:200mm×200mm
7.  光学观察:垂直光路设计,可直接观察微悬臂和样品

 

技术参数(电子部分)

1. 微处理器:600MHz,4800MIPS DSP
2. 模数/数模:16位,500kHz采样频率
3. 图像采集:同步自动采集16幅图像,分辨率高达4096×4096像素
4. 通讯方式:采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
5. 符合CE认证标准

 

标准工作模式:

. 真正非接触模式(True non-contact mode)
. 接触模式(contact mode)
.  相位模式(phase imaging)
. 横向力模式(LFM)

 

扩展工作模式:

. 力测量(Force measurements)
. 导电(Conductive AFM)
. 电力(Electric Force)
. 电子 (Electrical)
.  磁性 (Magnetical)
.  机械 (Mechanical)
. 热 (Thermal)

 

主要特点:

一、 彻底消除了扫描器的交叉耦合
二、 无损检测将分辨率提高到了极致
三、 易于同其他光学设备组合使用
四、 可便捷的更换样品和探针
五、 可对多目标区域进行自动扫描
六、 150/200mm全程移动样品台


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