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Park Systems XE-100旗舰通用型原子力显微镜

产品编号:
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品牌:中文
生产厂家:Park Systems
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Park Systems XE-100旗舰通用型原子力显微镜

XE-100旗舰通用型原子力显微镜

 
产品介绍:

Park Systems XE-100 原子力显微镜

    XE-100是Park Systems的旗舰产品。该产品可以实现精确的纳米计量和无损检测。新增的多区域自动扫描功能,更是极大的提高了检测效率。该系统可广泛的应用于材料科学、聚合物、电化学等诸多领域。近年来,Raman HR-800和XE-100的联合系统更是帮助VLSI开拓出了对100纳米以下硅微结构进行机械性能分析的新天地。

 

技术参数(机械部分)
1. XY扫描器:50µm×50µm(闭环),可选配100µm×100 µm(闭环)
2. Z扫描器:12µm (可选配25µm)
3. 水平度:50µm线扫描垂直偏差不超过1nm
4.  XY和Z扫描器的正交性:1.0o
5. 样品台移动范围:25mm×25mm(X/Y),27.5mm (Z)
6. 样品尺寸:100mm×100mm
7. 光学观察:垂直光路设计,可直接观察微悬臂和样品

技术参数(电子部分)
1. 微处理器:600MHz,4800MIPS DSP
2. 模数/数模:16位,500kHz采样频率
3. 图像采集:同步自动采集16幅图像,分辨率高达4096×4096像素
4. 通讯方式:采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
5. 符合CE认证标准

标准工作模式:
. 真正非接触模式(True non-contact mode)
. 接触模式(contact mode)
. 相位模式(phase imaging)
. 横向力模式(LFM)

扩展工作模式:
. 力测量(Force measurements)
. 导电(Conductive AFM)
. 电力(Electric Force)
. 电子 (Electrical)
. 磁性 (Magnetical)
. 机械 (Mechanical)
. 热 (Thermal)

主要特点:
一、 计量精确
XE系列AFM彻底消除了球面误差,因而具备了实现精确纳米计量的能力。
二、 扫描器线形度高,直角正交
XE系列AFM采用了柔性扫描器最大限度减小了X和Y扫描运动的交叉耦合,并且通过位移传感器及时进行反馈控制,这就有效保证了扫描的准确度和精度。
三、 非接触式扫描
可真正实现非接触式扫描是Park AFM最显著的技术优势。采用这一模式扫描时,针尖和样品间距可以保持在几个纳米,在避免针尖磨损的同时提高了成像质量。
四、 CrN样品测试结果
CrN样品具有点状尖锐的特点,是常用的AFM探针性能测试样品。如采用轻敲模式进行扫描,10次后图像质量就因针尖磨损而明显下降。在非接触扫描实验中,扫描100次后图像细节依然清晰,证明针尖没有受到损伤。

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