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olympus奥林巴斯工业显微镜U-UVF248深紫外检测系统

产品编号:admin
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会员价:¥0.00
品牌:Olympus奥林巴斯
生产厂家:olympus奥林巴斯
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高分辨率

 

色差校正的光学系统,能观察到明亮的、高对比度的深紫外线影像

采用了适合深紫外线248 nm的光学系统,实现了可见光线2倍以上的分辨率。即使是深紫外线领域,也能进行248±4 nm的宽范围波长色差校正。能有效利用照明光源,获得鲜明的深紫外线观察影像,适用于观察低反射率的铜接线等标本。也可以在检查更微细的半导体图纹面和磁头滑动面的缝隙时,检查电极时,以及在缩微平版印刷技术中使用这个显微镜系统。

 

不使用粘合的全新DUV物镜


DUV物镜
DUV物镜采用了本公司独有的"无粘合透镜"设计制造技术。新开发的DUV物镜不使用粘合材料,高精度地组装了18组18片的透镜。即使是长时间的深紫外线照射,DUV物镜也能维持优异的性能。
 

高扩展性

 

分离式深紫外灯箱,提高了产品组合的灵活性。


深紫外线观察单元
把作为热源的灯箱从深紫外线镜筒分离,使之成为独立的光源单元。使用UV光引导把照明光线从光源单元导向镜筒,这样一来,在设置显微镜时其布局就容易了许多。此外,光源单元前面的操作旋钮,可以无级调光,能调节出适合样品的最佳亮度。石英纤维的使用实现了均一的DUV光照明。
 

实时成像

高分辨率的DUV数码照相机由软件控制,可高速获取数据。计算机上获取的图像可快速存档和分析,以便存入数据库和生成报告。

 

高经济性

 

小型紧凑、低成本

DUV镜筒构造简单,没有操作部分。照明部分可以拆卸,与传统的专用设备相比,重量减少了约1/2,实现了小型、轻便化。此外,成本也约压缩为原来的一半。

 

采用超长寿命的水银氙灯


光源盒
在深紫外线照明上采用了照明时间平均为1000小时的超长寿命水银氙灯。减少了照明灯的更换,降低了运行成本。

将深紫外线观察装置搭载于显微镜上,就可以组成深紫外线观察显微镜。有关对应的显微镜规格,请参阅各显微镜的具体规格说明。


深紫外线观察装置

U-UVF规格
UV248鏡筒 U-UVF248IM DUV光学系统 使用波长 248±4nm
光源 80W Mercury Xenon Lamp
物镜 Dedicated DUV100x Objective Lens: N.A. 0.9, WD 0.2mm
中间倍率 2.5x
视场数 12.5
(Actual Field of View: 50µm)
适用温度环境 23±5°C
可见光线光学系统 物镜 UIS Objective Lens
中间倍率 1x
视场数 22
(20 for Camera Observation)
UV428光源盒 U-UVF248LB 亮度调节
快门
0到100%手动无级调节
上下滑动式切换拨杆
UV光导U-UVF2FB/5FB 长度2 m或5 m
水银氙灯盒U-LH80HGXE 使用80 W水银氙灯
电源装置 USHIO制造(100 V~120 V)
 

对应显微镜一览

> MX61A: 可以综合控制外围设备、对应300 mm晶圆的电动型号
> MX61L/ MX61: 可以对应300 mm/ 200 mm 晶圆的电动型号
> MX51: 可以对应150 mm晶圆的手动型号

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