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olympus奥林巴斯工业显微镜MX61L/ MX61半导体检查显微镜

产品编号:admin
市场价:¥0.00
会员价:¥0.00
品牌:中文
生产厂家:olympus奥林巴斯
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考虑了检查效率的设计

 

主要操作集中配置在前面板上


前面板
[1] 照明强度旋钮
[2] 物镜倍率切换
[3] 孔径光阑调节
在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑(AS)的开闭调节,与物镜的切换和观察模式连动,用一个按钮就可以操作。此外,用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上,从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑(AS)的按钮分别斜向配置,手不离开对焦手柄,只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度,能够防止错误操作。

 

 

观察姿势迅速到位的倾斜镜筒


倾斜镜筒示意图
为了适应视点而调整座椅的高度,或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间,降低工作速度。但是,配备倾斜角度为0°~42°(可变高度为150 mm,SEMI S8对应)的倾斜镜筒,可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势,甚至可以站立检查。此外,这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离,可以在较大的平台上轻松操作。
 

高灵敏度载物台可以迅速决定位置


内置离合器的载物台手柄
对应300 mm晶圆/17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围(Y方向284 mm)。另外,内置离合器的载物台手柄,可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台,快速完成检查。
 

鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系

 

多种选择可实现卓越的成像性能

物镜是涉及到样品的照明和观察的重要部件,奥林巴斯有应对多种多样的观察方法、长工作距离、红外光及LCD检查用的齐全的物镜产品阵容可供选择。

观察影像实例

 

软件方案

实现数字成像

MX61L配备了PC界面,可以读取显微镜的电动功能。因此,捕获影像时可以自动保存物镜倍率,为日后处理和分析影像提供可靠的影像信息。

 

使用数码照相机记录和保存数码影像

三目镜筒可以安装数码照相机?梢员4婧图锹际胗跋,帮助创建观察报告?梢谰萦猛敬油枷裰柿、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。

 

支持缺陷检测的多种功能

 

快速切换物镜,提高检查速度


电动物镜转换器示意图
电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换,可以操作按钮瞬时间完成,提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外,UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机,在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。
 

变换物镜,孔径光阑(AS)也随之调节


AS自动调节示意图
每次变换物镜时都需要调节孔径光阑(AS)的话,会影响检查速度。MX61L对每个物镜都可以设置观察方法和AS(14级),只要切换物镜就能以最合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节AS,提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。
 

帮助实现多种观察的附件

 

安全快速的搬运晶圆


自动晶圆搬送机AL110(200 mm规格)组合
MX61L能与自动晶圆搬送机组合,组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外,晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的?仄,那么不良晶圆的登录、开始和保存都可以在手中快速完成。
 

近红外线观察单元

由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜,和红外线用超广角三目镜筒等,对应近红外线的装置备有各种型号。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。

 

荧光观察单元

在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U.B.G激励的反射镜装置,可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。

 

透射照明单元


透射照明单元
对应光掩模和FPD检查的透射照明单元。偏振光片的搭载,实现了透射简易偏振光观察。有通用的A型号和高NA(数值孔径)的B型号两种型号。
MX61
光学系统 UIS2光学系统(无限远校正)
机身 观察方法 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
反射/透射 反射/透射
照明装置 机身一体型(明视场,暗视。1选件)
照明系统 反射照明 100 W卤素/100 W水银/75 W氙
透射照明 纤维光导
对焦单元 电动/手动 手动
行程 32 mm
分辨率/微调灵敏度 微调旋钮转动1周移动0.1 mm
最大样本高度 30 mm
物镜转换器 电动型 明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔
手动式 -
载物台 行程 14×12英寸右下手柄:
356(X)×305(Y)mm
(透射照明范围356×284 mm)
8×8 英寸右下手柄:
210(X)×210(Y)mm
(透射照明范围189×189 mm)
6×6 英寸右下手柄:
158(X)×158(Y)mm
观察筒 广角视场
(视场数22)
倒置 双目/三目观察筒
正像 三目观察筒
超宽视场
(视场数26.5)
倒置 三目观察筒
正像 倾斜三目观察筒
附件单元 DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸 710(W)×843(D)×507(H)mm
(标准组合)
509(W)×843(D)×507(H)mm
(标准组合)
重量 51 kg(标准组合) 40 kg(标准组合)

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