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olympus奥林巴斯工业显微镜MX61A半导体显微镜

产品编号:MX61A 全自动半导体检查显微镜
市场价:¥0.00
会员价:¥0.00
品牌:中文
生产厂家:olympus奥林巴斯
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    始终提供最佳观察影像的光学系统

     

    强大的缺陷检查能力

    采用了新颖的光学系统(UIS2),特别增强了明视场、暗视场的性能,从而提高了辨别和确认缺陷的能力。明视场图像的色温最佳化,实现了容易误检的中性颜色的再现,暗视场图像的亮度约提高了四倍(与本公司原有产品比较)。

    自动调节最佳亮度


    亮度光圈调节示意图
    物镜选择和观察方法切换连动,自动地调节亮度光圈。提高了观察速度并减轻疲劳。
     

    对应各种设备的实时AF


    深紫外线观察用物镜
    MX61A装载了在对焦精度、对焦速度上性能优越的动态AF。新开发的多点方式的传感器的采用,大幅度的提高了对焦时的稳定性。在可视、深紫外线的反射光观察中,实现了追踪观察位置的实时对焦。
     

    对应多种观察方法


    物镜UIS2系列产品
    在深紫外线到可视、近红外线观察中发挥高性能的UIS2物镜系列产品,与各种观察单元组合,可以在一台显微镜上进行明视场、暗视场、微分干涉、荧光、近红外线、深紫外线等观察。
    观察方法的切换非常简单,只要从明视场、暗视场、选件镜子单元三个位置选择就可以。
    观察影像实例
     

    提供扩展性的解决方案

     

    提供扩展性的解决方案


    适应分析需求的Analysis-Engine(分析引擎)?
    "显微镜控制软件"作为核心对MX61A系统全体进行控制。这个应用灵活的软件不仅能控制显微镜,还能控制数码照相机、电动载物台等外围设备。一直以来,必需进行若干个操作才能实现的高级观察方法、深紫外线观察等的切换,只要一次点击就能顺利完成。该软件进一步拓展了MX61A的扩张性,满足了不断变化的分析需求。
     

    显微镜控制软件 MX2-BSW


    显微镜控制软件显示画面
    显微镜控制软件MX2-BSW不仅能进行各种显微镜控制和AF,还能综合控制深紫外线观察单元和电动载物台*1等。对于数码照相机*2,能够控制它的观察和记录。观看实况影像时单击需观察的地方,快速移动到视场中心、实况计量和检测、影像记录等一系列作业就能容易的得以实现。

    *1对应本公司推荐的电动载物台
    *2对应奥林巴斯DP21或本公司推荐的IEEE1394数码照相机

     

    实现对人和环境都没有危害的自动化

     

    符合SEMI S2/S8标准

    符合SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)S2-0706(有关安全的基准),S8-0705(有关人体工程学的基准)和CE标识(欧洲强制性认证)等的国际标准。符合人体工程学和安全对策等,高水准的确保了可靠性。

     

    可选的倾斜观察筒


    倾斜观察筒示意图
    备有2种能以舒适姿势观察的倾斜镜筒?梢愿萦猛狙≡袼坎壳阈苯嵌扔伤0°到42°的、变化范围大的MX-SWETTR型号,或是目视和拍摄影像可同时观察的U-SWETTR-5型号。
     

    洁净对应的电动物镜转换器


    洁净对应的电动物镜转换器
    备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器。
    6孔和5孔中心补正型号的明暗视场电动物镜转换器,采用了新型马达,实现了高速安静的倍率转换。
     

    高抗振本体


    高倍率观察图像示意图
    采用了不易受振动影响的高度刚性仪器机架。即便是高倍率观察,也不会出现影像模糊的情况。
     

    可以触摸屏操作的手控开关


    手控开关操作部
    配备了触摸屏操作的手控开关,可以在检查时执行选择物镜和观察方法等多种操作。只要选择观察方法,就能得到基于登录条件的最合适的观察影像。自动对焦的追踪、单次拍摄的切换、对焦的细微调节、DIC延迟调节、亮度调节和交换样本时的载物台退出均可以执行。
     

    帮助实现多种观察的附件

     

    晶圆搬送机组合


    晶圆搬送机
    可以对应直径200 mm及以下的晶圆。新型搬送手臂的采用,实现了对90 μm极薄晶圆的搬送,能满足多种尺寸晶圆搬送的需求。
     

    自动载物台组合


    自动载物台
    备有对应300mm/200mm晶圆的高精度电动载物台。通过PC控制,可以实现高级检查、不良分析功能。
  • 全自动半导体检查显微镜 MX61A 规格
    光学系统 UIS2光学系统(无限远校正)
    机身 观察方法 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
    反射/透射 反射
    照明装置 机身一体型(明视场、暗视。1选件)
    照明系统 反射照明 100 W卤素/100 W水银/75 W氙
    透射照明 -
    对焦单元 电动/手动 电动
    行程 25.4 mm
    分辨率/微调灵敏度 分辨率0.01 μm
    最大样本高度 24 mm
    物镜转换器 电动型 明视场微分干涉6孔
    明暗视场微分干涉5孔
    明暗视场微分干涉6孔
    明暗视场微分干涉中心补正5孔
    手动式 -
    载物台 行程 14×12英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm
    8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm
    观察筒 广角视。ㄊ映∈22) 倒置 -
    正像 -
    超宽视。ㄊ映∈26.5) 倒置 -
    正像 倾斜三目观察筒
    附件单元 自动调焦/DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
    外形尺寸 711(W)×853(D)×552(H)mm(标准组合)
    重量 56 kg(标准组合)

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