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olympus奥林巴斯工业显微镜AL120-12晶圆搬送机

产品编号:admin
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会员价:¥0.00
品牌:Olympus奥林巴斯
生产厂家:olympus奥林巴斯
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人机工程学设计,操作方便

  • 可以自由设置的检查模式,在设计上考虑了后道工程中的操作性,尤为重视设备的操作简便性。
  • 分别对应FOUP(Load Port)和FOSB的两种机型。
 

坚固、可靠和安全传送

  • 延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性,能够安全可靠的传送300 mm晶圆。
  • 薄片,Warped晶圆皆能安全搬送。
  • 宏观观察位置的最优化和操作单元的集中排列,提高了设备的操作舒适性。
 

专用宏观照明装置


专用宏观照明装置
为异物、伤痕、膜斑、散焦的发现提供了理想的照明方式
高亮度金属卤化物光源与光纤照明的组合,实现了300 mm晶圆的冷光源全面照射。
自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 规格
  AL120-LMB12-LP AL120-LMB12-F
晶圆尺寸 300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可。200 mm
卡盒 ●FOUP(Front Opening Unified Pods)前开门标准夹
●SEMI:E47.1-0200规格产品
●FIMS-FOSB, FOSB
●FOSB(Front Opening Shipping Box)前开门搬运盒
●SEMI:M31-0999规格产品
卡盒数 单盒(装载、卸载兼用)
卡盒设置高度 900 mm
装载端口
搬运顺序 表面宏、内面宏、显微镜检查
检查模式 全部检查、抽样检查
晶圆校准 非接触式中心环
晶圆搬运方式 真空吸附机械搬运
适用显微镜 半导体检查显微镜MX61L
应用环境 AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz
真空-67~-80 Kpa
载物台 XY手动吸附载物台,有XY粗调/微调和360度旋转机构
重量(不包括显微镜) 约360 kg 约270 kg

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