产品中心Product center

scarpa

olympus奥林巴斯工业显微镜AL120

产品编号:admin
市场价:¥0.00
会员价:¥0.00
品牌:Olympus奥林巴斯
生产厂家:olympus奥林巴斯
需求数量:
提交询价

 

 

高度可靠性 

  • 适应范围广、搭配灵活

     

    对应多种尺寸组合

    我们推出了200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(对应小于150 mm的晶圆)的3种型号。除此以外,您还可以根据检查模式,选用微观检查专用型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型"。

    晶圆尺寸•厚度对应表

     

    薄片检查

    对应薄片制造厂家的需求,AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆。

     

    高度实用性

     

    进一步优化的宏观检查


    背面宏观360゜旋转
    • 宏观检查手臂可以360゜旋转,更为容易发现伤痕和微尘。
    • 利用360゜旋转功能,完全可以目视检查整个晶圆(包括边缘)。此外,在表面宏观检查中,使用操纵杆可随意将晶圆最大倾斜30゜进行观察。
     

    操作便捷

    • 为了满足各种常规检查的要求,AL120可以登记多达10个检查程序。使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度?焖俨说パ≡癜磁ピ蚩梢匀貌僮髟绷⒖糖谢徊煌绦。
    • 晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示。 使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT,便于操作者再次确认。
    • AL120使用非接触光学定位、查找和对齐缺口/平面,可以减少晶圆和设备之间的接触,提高晶圆的清洁度。
     

    高度可靠性

     

    优先考虑晶圆和操作者的安全

    • 为了能够安全的安装晶圆,采用了在装置正面放置片盒的设计。
    • 在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测,同时,在环境保护方面遵守了RoHS指令。
     

    坚固、耐用的显微镜底座

    AL120搭载奥林巴斯MX专业晶圆检查显微镜系列,通过各种观测方法,包括:明视场、暗视场、微分干涉(DIC)、近IR(近红外线)和DUV(深紫外线),实现了卓越的图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定,可以优化各物镜的照明和对比度。如果特别订制,AL120还可以应用到其他型号的显微镜上。

     

    人机工程学设计的载物台

    • 手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率,标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
    • 可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台,进一步将检查过程自动化。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置。

     

     

     

     

     

  • 晶圆搬送机 AL120 规格
      200 mm专用型 200 mm/150 mm 兼用型 150 mm型
    AL120-
    LMB8-
    90
    AL120-
    LMB86-
    180
    AL120-
    L86-
    180
    AL120-
    LMB86
    AL120-
    L86
    AL120-
    LMB6-
    150
    AL120-
    L6-
    150
    晶圆尺寸(SEMI规格) 200mm 200mm / 150mm 150mm /
    125mm /
    100mm
    晶圆最小厚度 90µm 180µm 400µm 150µm
    片盒类型* SEMI规格:25(26)个slot
    片盒数 1
    检查模式 全部检查/抽样检查
    搬运顺序 微观检查(显微镜检查)
    表面宏观检查      
    背面宏观检查      
    二次背面宏观检查      
    晶圆定位(每 90º) 非接触(定位平边/V型槽) 非接触(定位平边)
    适配显微镜型号 奥林巴斯半导体检查显微镜 MX61
    尺寸(mm) 主机部分:640 (W) × 620 (D) × 378 (H),配备显微镜时:1100 (W) × 620 (D) × 378 (H) 主机部分:570 (W) × 620 (D) × 400 (H),配备显微镜时:980 (W) × 620 (D) × 400 (H)
    重量(kg)(仅主机部分) 44 44 41 44 41 40 37
    使用环境(电源/真空) AC100 V~120 V、1 A或AC220 V~240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67~-80 kPa、20 Liter/min以上

    * 最多可登记10种片盒

    请填写以下表格,我们会尽快与您联系!或者直接致电400 628 5117,谢谢!

    * 您的姓名: *
    部门及职位:
    * 电话: *
    传真:
    传真:
    单位: *  
    地址:
    邮箱: *    
     
    关闭
    www.scaebuy.com
    友情链接:幸运蛋蛋  幸运蛋蛋是真的吗  幸运蛋蛋开奖记录  幸运蛋蛋开奖记录  幸运蛋蛋  幸运蛋蛋官网  幸运蛋蛋  幸运蛋蛋登陆  幸运蛋蛋技巧  幸运蛋蛋主页