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Hitachi日立 SU70日立新型分析型热场发射扫描电镜

产品编号:
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品牌:中文
生产厂家:Hitachi日立
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Hitachi日立 SU70日立新型分析型热场发射扫描电镜

SU70日立新型分析型热场发射扫描电镜

 
产品介绍:

         

             SU70日立新型分析型热场发射扫描电镜

    为了满足在同一台仪器上进行综合分析(需要大探针电流)和超高分辨率观察的需求,日立开发了SU-70。它采用成熟的超高分辨率半内透镜技术和热场发射电子枪,为探索纳米世界打开了一扇新的大门。

特点:
1. 100nA的大探针电流
   新开发的肖特基电子枪保证100nA的大探针电流
2. 通用的分析型样品室
   预留了多种接口,可以安装以下附件进行
   分析:EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,超低
   温台,样品室CCD
3. 分析模式(FF模式)
   观察磁性样品及EBSP、WDS分析
4. 超高分辨率 1.0nm/15kV,1.6nm/1kV(减速模式),超高分辨率的获得利用了日立
   已被检验的半内透镜技术。
5. 超级ExB技术用于控制SE/BSE信号检测,实现消除放电现象及信号混合
6. 电子束减速技术保证了超低电压的高分辨成像,用于浅表面观察

 二次电子图象分辨率
 1.0nm(15KV.WD=4.0mm)
 1.6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式)
 2.5nm(1KV.WD=1.5mm)

 放大倍数
 低放大倍数模式      20-2,000x
 高放大倍数模式      100-800,000x

 电子光学
 电子枪              ZrO/W 肖特基电子枪
 电流                1pA-100nA
 加速电压            0.5-30KV(标准模式)
 着陆电压            0.1-2.0KV(减速模式)
 透镜系统            3级电磁线圈系统
 物镜光阑            4孔光阑,真空外选择和细调

 样品台
 样品台控制        5轴马达控制
 移动范围
 X                      0-110mm
 Y                      0-110mm
 z                      1.5-40mm
 T                      -5O-+700
 R                     360O
 样品尺寸            直径150mm(标准)
 (最大)                直径200mm(可选)

 探测器
 二次电子探测器
 背散射电子探测器(可选)
 STEM探测器(可选)
 法拉第杯(可选)
 X射线能谱仪(可选)
 X射线波谱仪(可选)
 EBSP探测器(可选)
 阴极荧光探测器(可选)

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