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Hitachi日立 S-5500超高分辨率扫描电子显微镜

产品编号:
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品牌:中文
生产厂家:Hitachi日立
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Hitachi日立 S-5500超高分辨率扫描电子显微镜

S-5500超高分辨率扫描电子显微镜
产品介绍:

           

               S-5500超高分辨率扫描电子显微镜

   S-5500的独特设计可以保证0.4nm的超高分辨率,从而获得新的信息并展现纳米世界的秘密。

1. 新型的物镜设计可以使其达到世界最高分辨率:0.4nm
   (30kV)。同时新的控制系统使得超高分辨的显微分析变得
   简单易行。
2. 保证分辨率为0.4nm (30kV), 1.6nm (1kV)
3. Hitachi的专利技术ExB可以让操作者优化图像中SE和BSE信号的比例
4. 新开发的BF/DF双STEM检测器可以同时显示BF像及DF像。在DF STEM模式中还可以改变检测角度。(可选)
5. 电子光学系统的改进可以不用改变样品位置而同时进行EDS分析及形貌观察。
6. 可以使用与FIB兼容的样品杆。

技术指标:

 二次电子分辨率  0.4nm (30kV) ;1.6nm (1kV)
 加速电压  0.5~30kV
 放大倍率  60X ~ 10,000X (低倍模式) ;800~2,000,000X(高倍模式)
 电子枪  冷场发射电子源
 透镜系统  3级电磁透镜系统
 物镜光栏  可变型 (4孔,在真空系统外进行微调,100-50-50-30µm)
 消像散线圈  八极电磁线圈系统
 扫描线圈  2级电磁偏转线圈(高倍模式) ;1级电磁线圈(低倍模式)
 样品台  侧插式测角台
 样品台移动  X:±3.5mm, Y: ±2.0mm; Z: ±0.3mm, T: ±40°
 样品尺寸  最大5.0mmx9.5mmx3.5mmH (Bulk)
 最大2.0mmx6.0mmx5.0mmH (Cross-section)
 电子图像移动  ±5µ
 检测器  二次电子检测器
 上部背散射电子检测器(可选)
 YAG型背散射电子检测器(可选)
 BF/DF 双STEM检测器(可选)
 STEM检测器(可选)
 X射线能谱仪 (可选)

 

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