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Hitachi日立 S-4800冷场发射扫描电子显微镜

产品编号:
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品牌:中文
生产厂家:Hitachi日立
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Hitachi日立 S-4800冷场发射扫描电子显微镜

S-4800冷场发射扫描电子显微镜
产品介绍:

                                      

                              S-4800高分辨冷场发射扫描电子显微镜

    日立S­4800扫描电子显微镜采用大样品室的半内透镜设计,却能达到超高分辨率,可以与内透镜UHR扫描电镜相媲美。

特点:

1. 新型物镜采用专利的ExB设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯
   二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。
2. 1KV低加速电压时保证有2.0nm的分辨率。
3. 两种样品台可。篒型50mm x 50mm小样品台或Ⅱ型110mm x 110mm大样品台。
4. 包括涡轮分子泵在内的先进的真空系统。
5. 便于用户使用的、基于图形用户界面的控制系统,包含多种自动功能,操作简易

性能指标:

 二次电子分辨率  1.0nm (15kV)
 2.0nm (1 kV)
 1.4nm (1 kV,减速模式)
 电子枪  冷场发射电子源
 加速电压  0.5~30kV(0.1KV/步,可变)
 放大倍率  x 20~ x 800,000
 物镜光阑  4孔,真空外选择和调校(内置加热器)
 检测器  二次电子检测器 (高位/低位)
 背散射电子检测器(可选)
 EDX(可选)
 透射电子检测器(可选)
 法拉第杯(可选)
 样品台  l型:  
 X: 0~50mm   Y: 0~50mm 
 Z:1.5~30mm  T: -5°~70°R:360°    驱动:手动(可选3轴/5轴马达驱动)
 ll型:   
 X: 0 ~110 mm    Y: 0 ~110mm
 Z: 1.5 ~40 mm    T: -5°~ 70°
 R: 360°驱动: 5轴马达驱动
 操作/显示  操作系统: WindowsTM  XP
 图像储存  640 x 480, 1,280 x 960,
 2,560 x 1,920,5,120 x 3,840
 图像编辑
 图像文件格式
 内置图像处理软件和图像编辑软件
 BMP,  TIFF,  JPEG
 扫描速度  TV/慢速 (0.5 ~ 40 s/帧) 用于观察
 慢速 (40 ~ 320 s/帧) 用于记录
 自动数据记录  胶卷号,加速电压,微米标尺,放大
 倍率,日期,时间,工作距离
 电子图像移动  ±12µm ( W.D. = 8 mm)
 真空系统  自动调节
 离子泵 3 台
 涡轮分子泵(磁浮型) 1 台
 机械泵 1 台

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