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AST PJ等离子体表面处理仪

产品编号:
市场价:¥0.00
会员价:¥0.00
品牌:中文
生产厂家:AST
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1. 电子产品:PCB板、柔性电路板、平板显示器、感光树脂的剥离
  2. 医药方面:生物材料表面处理、杀菌、组织培养等
  3. 工业方面:高分子膜表面改性、终端安装清洗等

主要特点

  1. 专利化能量分布设计,美国专利号:4,887,005 / 5,190,803 / 5,228,963 / 5,48,560 / 5,733,511
  2. 采用微处理器控制
  3. 适合各种等离子体的处理,如清洗、表面改性和刻蚀等
  4. 气体流速精确控制和混合
  5. 射频自动匹配功能
  6. 高密封的真空系统

主要型号:

  1. 间歇式系统:PJ、PS-350/500
  2. 客户专用型系统:PS-750/2020/ 3030
  3. 大批量系统和滚筒式系统

技术参数:

型号

PJ

电源要求
 

115/220V, 15A
 

射频功率
 

300W,13.56MHz
 

射频匹配
 

自动匹配
 

控制方式
 

基于WindowTM的PC控制
 

仪器尺寸
 

60×60×30cm,35 Kg
 

样品室
 

20cm直径,25cm长
耐高温玻璃,可选择石英
电容耦联,一个气体供应
 

气体供应
 

包括一个流速控制器
 

可选附件
 

氧气供应
水蒸气过滤器
真空计
真空阀
真空泵
流速控制器MFC等
 


 

型号
 

PS350
 

PS500
 

PS750
 

射频功率
 

600W,13.56MHz
 

600W,13.56MHz
 

600W,13.56MHz
 

仪器外观(cm)
(H×W×D)
 

183×63×61
 

203×63×89
 

203×114×63
 

样品室(cm)(H-W-D)
 

42×34×50
 

53×37×68
 

165×38×41
 

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